科普|半导体设备如何识别loadport上面有Foup或pod???
作者: 来源: 日期:2024/12/6 13:29:22 人气:1589





物理接触检测

1. 机械微动开关

优点:结构简单,,成本低。。。。

缺点:机械部件容易磨损,,,可能导致误判。。。

应用场景:适用于需要简单可靠解决方案的情况,,,但不适合需要高精度或长时间稳定性的场合。。。。

2. 压力传感器

工作原理:在loadport的承载面上分布多个压力传感器。。。。当Foup放置在上面时,,,会对这些传感器施加压力,,通过检测压力的变化和分布模式来判断Foup的存在。。。。

优点:相比机械开关更耐用,,,,能提供更多关于Foup状态的信息。。。

缺点:成本较高,,需要精确校准。。。。

应用场景:适合需要高精度检测的应用场景。。。


光学检测

1. 光电传感器

工作原理:使用光电传感器发射光束并接收反射光。。。。Foup的存在会改变反射光的强度或路径,,,,从而被传感器捕捉到。。。

优点:非接触式检测,,减少机械磨损。。。。

缺点:可能受环境光干扰,,需要优化设计以提高可靠性。。。。

应用场景:适用于对清洁度要求较高的环境。。。

2. 视觉检测系统

工作原理:通过安装在loadport附近的摄像头采集图像,,,并利用图像处理和机器学习技术分析图像中的Foup特征。。。。

优点:可以识别Foup的具体类型,,,提供更丰富的信息。。

缺点:复杂度高,,,成本相对较高。。。

应用场景:适合需要高度自动化和智能化管理的场合。。。。


电学特性检测

1. 电容式检测

工作原理:在loadport表面布置电容传感器,,Foup的存在会改变电容值。。。。

优点:无接触检测,,,,响应速度快。。。。

缺点:受周围环境影响较大。。。

应用场景:适用于对响应速度有一定要求的场合。。

2. 电感式检测

工作原理:通过检测电感的变化来判断Foup的存在。。。Foup中含有的金属成分会影响电感线圈的磁场。。。

优点:同样为非接触式检测,,,,对于金属材质的Foup特别有效。。。。

缺点:成本较高。。。

应用场景:特别适用于需要检测金属材质Foup的情况。。。。


射频识别(RFID)

工作原理:在Foup上安装RFID标签,,,loadport处设有RFID读取器。。。当Foup放置在loadport上时,,,,读取器能够读取标签上的信息,,,,确认Foup的存在。。。

优点:不仅可以检测Foup的存在,,,还可以获取更多相关信息,,如编号、、、类型等。。

缺点:成本相对较高。。

应用场景:适合需要对Foup进行详细管理和追踪的场合。。。


产品介绍


i-Stock Semi-Foup Stocker,,,,突破技术壁垒,,,,打造行业领先晶圆存储设备,,,内部搭载双规格机械臂可以一次存取两种型号的晶圆盒,,,提高半导体晶圆智能仓储的兼容性。。。。库内库外可拓展对接AMR/OHT上下料,,,,便捷高效,,打造智能化、、、、可视化的半导体晶圆存储设备。。。。


打通不同工艺流程与软件信息之间的物质流和信息流,,实现晶圆物料在各个车间、、、、机台的自动转运或自动上下料,,,解决人工作业带来的效率低下和产品不良率低的问题。。。赋能半导体晶圆库房与存储流程设备化、、智慧化、、无人化,,,,提升作业效率,,,,降低库存,,实现物料的最高价值,,,使管理标准化,,,,从而降低企业运作成本为己任。。。


设备参数




设备优势

一臂双用:灵活适配不同尺寸的晶圆盒,,,,实现多样化生产需求。。。

智能夹取: 结合视觉识别和运动规划,,,确保夹取动作的准确性和稳定性。。。

高效生产: 提升生产效率,,,,减少人工操作,,,降低误差率,,,,实现智能化生产管理。。

精准操作: 通过智能仓储系统,,,,实现精准夹取和处理晶圆,,,提高生产质量。。

节约成本: 减少人力成本,,,降低操作误差,,,,提高生产效率,,,带来长期成本节约。。。




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