1、、、WLCSP是什么????
WLCSP(Wafer Level Chip Scale Package,,,,晶圆级芯片级封装)是一种先进的集成电路封装技术,,,其特点是直接在晶圆上完成封装,,,,最终封装尺寸接近芯片本身的大小。。。。这种技术通过在晶圆上进行重新布线和凸点制造,,,实现高密度互联和小型化封装,,广泛应用于移动设备、、消费电子和高性能计算领域。。。。
2、、、、WLCSP的分类????
扇入型晶圆级芯片封装(Fan - In WLCSP):引脚从芯片四周引出,,,,呈扇形引入到芯片底部,,具有尺寸小、、成本低、、、、散热性好等特点,,,,但引脚数量较少,,,无法实现高集成度芯片封装。。。。
扇出型晶圆级芯片封装(Fan - Out WLCSP):引脚从芯片底部引出,,,,呈扇形引出到芯片外部,,,,引脚数量多,,电路设计灵活,,能够将多个芯片封装为一体,,在满足小尺寸要求的同时可以实现更高集成度。。。
3、、WLCSP工艺Flow
1. 晶圆准备
晶圆清洗:去除表面的颗粒、、、有机物和金属残留。。
表面处理:通过化学或物理方法改善晶圆表面的附着性能。。。
2. 钝化层沉积
在晶圆表面沉积一层钝化材料(如SiO₂或SiN),,,用于保护内部电路并提供绝缘。。。常用方法:PECVD(等离子体增强化学气相沉积)。。。。
3. 焊盘开窗
使用光刻技术在钝化层上开窗,,露出铝焊盘。。。通过湿法蚀刻或干法蚀刻实现精确图案化。。。
4. 重新布线(RDL, Redistribution Layer)
在晶圆表面制作重新布线层,,将原本分散的小焊盘重新排列成更大的焊盘阵列。。。步骤如下,,首先沉积导电材料(如铜或铝),,其次刻蚀形成所需的布线图案,,,最后表面钝化处理。。。。
5. 凸点下金属化(UBM, Under Bump Metallization)
在重新布线层的焊盘表面沉积一层或多层金属薄膜,,用于提高焊球与焊盘之间的粘附力和导电性。。常见材料:Ti/Cu/Ni/Au。。。。
6. 焊球植球
将焊球(如SnAgCu合金焊球)放置在重新布线层的焊盘上。。焊球可以通过印刷法、、、电镀法或回流焊接法固定。。。
7. 晶圆切割
使用激光切割或划片机将封装好的晶圆分割成单个芯片。。。。注意保持切割路径不会破坏芯片功能。。。。
8. 成品测试
对切割后的单个芯片进行电气性能测试和外观检查。。。测试内容包括导通性、、、、绝缘性、、、焊球位置偏差等。。。
9. 最终封装
将合格的芯片装入最终的包装载体中(如塑料封装体或玻璃基板)。。进行密封处理以防止外界环境的影响。。。。