半导体晶圆仓伺服监控
通过实时监测、、故障预警、、、、数据记录与分析等功能，，，有助于提高生产效率、、、确保晶圆品质和设备安全。。。。
实时了解电机的负载情况，，优化电机的使用和维护。。
实时了解电机的运行状态和位置坐标，，管控电机数据信息。。
实时了解机台的电力使用情况，，优化能源管理和提高能源利用效率。。。。
实时监测晶圆仓内温湿度等环境参数，，，确保晶圆存储环境的安全性。。。。
实时了解设备的工作状态、、运行参数和故障信息，，，提高设备的稳定性和效率。。。
